UVER-EXPX-75-2W
Esposizione > Esposizione del wafer
Lunghezza di
irradiazione
irradiazione
Spot
Larghezza di
irradiazione
irradiazione
Altro
lunghezza d'onda
365nm, 385nm, 395nm, 405nm, 435nm
Intensità
1W/cm2, 2W/cm2
Raffred
damento
damento
Raffreddamento ad acqua, Ventola motore a raffreddamento ad aria

