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Wafer PR : UVER-EX-75
基本情報
| 製品名 | UVER-EX-75 |
|---|---|
| 外郭寸法(mm) | (W)148 x (D)148 x (H)365.6 |
| 冷却方式 | Chiller & Motor Fan |
| 照射面積(∅) | 7mm~55mm |
| 均一性 | 92% |
| 通信方式 | RS-232C, I/O |
| 保護機能 | 過電流、過電圧、温度、断線、 未点灯、短絡 |
基本情報
| 製品名 | UVER-EX-75 |
|---|---|
| 外郭寸法(mm) | (W)148 x (D)148 x (H)365.6 |
| 冷却方式 | Chiller & Motor Fan |
| 照射面積(∅) | 7mm~55mm |
| 均一性 | 92% |
| 通信方式 | RS-232C, I/O |
| 保護機能 | 過電流、過電圧、温度、断線、 未点灯、短絡 |