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Wafer PR : UVER-EX-75
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노광 시스템
Wafer PR
UVER-EX-75
기본정보
제품명
UVER-EX-75
외곽치수(mm)
(W)148 x (D)148 x (H)365.6
냉각 방식
Chiller & Motor Fan
조사 면적(∅)
7mm~55mm
균일도
92%
통신 방식
RS-232C, I/O
보호 기능
과전류, 과전압, 온도, 단선, 미점등, 단락
특성
자체 개발 고 광량 광원 적용
다양한 파장구성 선택 가능
정밀한 출력 조정 가능(1024steps)
과전류, 과전압, 온도, 단선, 미 점등, 단락 등의 보호 기능 탑재